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光学式薄膜測定システム Filmtekシリーズ
光学式薄膜測定システム（分光エリプソメトリー）は、半導体工程における絶縁膜等の膜厚管理や薄膜特性解析を行うための重要な装置として多く導入されている装置です。
Product Category : Material Factory Decarbonization
Other Feature : New Products/Technologies
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